产品详情
JSD系列干式双电机螺杆真空泵机组
1、立式双电机直驱无油螺杆真空泵机组;
2、采用立式结构,粉尘和液体通过性好;双转子直驱控制,去齿轮100%无油;
3、转子轴心冷却,过程温度可控。适用于航空航天、化工医药、实验室等应用。
适用行业场景:航空航天;医药&化工;科研实验
◎抽气速度(m³/h):170~1400
◎极限压力(pa)≤1
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SMR系列干式多级罗茨真空泵机组
1、多级罗茨设计,运行功耗更节能;
2、采用全水冷二合一变频驱动,电控系统密封等级高,防尘防水散热性好,驱动更节能。
适用行业场景:半导体、泛半导体行业
◎抽气速度(m³/h):600~5400
◎极限压力(pa)≤0.1
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SFR系列干式增强螺杆真空泵机组
1、首创基于双头对称型线的增强型螺杆设计,结构更合理,运行更平稳、更节能;
2、气体通路短,抗粉尘性能强,适用于镀膜工艺;
3、泵体的温度可控,可以针对客户工艺进行定制化设计。
◎主要适用于半导体、泛半导体等行业
◎额定抽速(m³/h):600—5400
◎极限压力(pa)≤0.1
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SCR系列干式复合爪式真空泵机组
1、复合爪式结构,负载多级分配,刮粉尘能力强;
2、采用全水冷二合一变频驱动,电控系统密封等级高;
3、防尘防水散热性好,驱动更节能。
◎主要适用于半导体、泛半导体等行业
◎额定抽速(m³/h):600—5400
◎极限压力(pa)≤0.1
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