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  • SDR/SVR/SVH系列真空机组设备
    ◎主要适用于半导体,光伏太阳能,锂电新能源等行业
    ◎额定抽速(m3/h):860—7200
    ◎终极压力(pa)≤0.1
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  • SFR系列真空机组设备
    ◎主要适用于半导体、锂电新能源等行业
    ◎额定抽速(m3/h):860—5400
    ◎极限压力(pa)≤0.1
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  • SCR系列真空机组设备
    ◎主要适用于半导体、锂电新能源等行业
    ◎额定抽速(m3/h):860—5400
    ◎极限压力(pa)≤0.1
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  • SV系列等径变距干式无油真空装备
    ◎抽气速度(m3/h):80/96-790/950
    ◎高压端抽速快
    ◎运行过程功率低
    ◎排气温度低
    ◎噪音小可依制程
    ◎环境需求选用水冷(防爆)或风冷(防爆)马达
    ◎极限压力(pa)≤1
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