SFR系列干式增强螺杆真空泵机组

1、首创基于双头对称型线的增强型螺杆设计，结构更合理，运行更平稳、更节能；
2、气体通路短，抗粉尘性能强，适用于镀膜工艺；
3、泵体的温度可控，可以针对客户工艺进行定制化设计。
◎主要适用于半导体、泛半导体等行业
◎额定抽速（m³/h）：600—5400
◎极限压力（pa）≤0.1